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PI Sviluppa uno stadio lineare a levitazione magnetica con controllo 6DOF

Jun 05, 2023

PI, produttore di apparecchiature di nanoposizionamento e supporti ad aria, ha sviluppato un dimostratore tecnologico ad alta precisione basato su maglev. La levitazione magnetica è una tecnologia di movimento senza attrito che utilizza campi magnetici per levitare e spingere gli oggetti. La tecnologia MagLev viene utilizzata in varie applicazioni, più conosciute dai treni ad alta velocità e dai cuscinetti magnetici, e presenta grandi vantaggi nel controllo del movimento di precisione e nelle applicazioni di nanoposizionamento.

Il principio di base della levitazione magnetica è che i poli magnetici simili si respingono a vicenda. Per ottenere la levitazione magnetica nella sua forma più semplice vengono utilizzati due magneti; un magnete viene posizionato nell'oggetto che deve essere levitato e l'altro magnete viene posizionato sotto di esso.

Per rendere questo principio utile per il nanoposizionamento e il controllo di precisione del movimento, ad esempio nelle fasi di traslazione lineare, i magneti nella base devono essere bobine controllabili elettricamente e ce ne vuole più di una coppia per controllare anche il movimento laterale, il movimento verticale e il beccheggio, l'imbardata, e rotolare. È inoltre necessario un sistema di rilevamento della posizione ad alta risoluzione per il feedback al controller di movimento. Poiché nessun cuscinetto meccanico limita il movimento della piattaforma a stadio lineare, sono disponibili tutti e sei i gradi di libertà per correggere eventuali insufficienze dei cuscinetti, con un potente controller multiasse.

Potenziali applicazioni dei sistemi di nanoposizionamento maglev possono essere trovate nei test e nella metrologia dei semiconduttori, nella fotonica, nell'ottica e nella microscopia ad alta risoluzione. I vantaggi sono l'assenza di generazione di particelle (compatibile con le camere bianche), assenza di usura e manutenzione zero, movimento controllabile multidimensionale in un pacchetto compatto e durata di servizio praticamente illimitata. A differenza dei tavolini ad aria non è necessaria l'alimentazione di aria compressa.

PI ha investito nella ricerca sulla levitazione magnetica per applicazioni di nanoposizionamento e lavorerà con i clienti per far avanzare insieme la tecnologia.

Per ulteriori informazioni: www.pi-usa.us



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